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XYXYZ72壓電宏微復(fù)合平臺(tái)，采用壓電粘滑原理與壓電微動(dòng)技術(shù)相結(jié)合的方式,滿足XY軸mm級(jí)大行程,并且實(shí)現(xiàn)Z軸nm級(jí)的高精度。《查看更多》
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