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產(chǎn)品名稱:P11.XZ二維XZ向壓電納米定位臺 100μm價格

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產(chǎn)品特點:P11.XZ二維XZ向壓電納米定位臺 100μm價格
P11系列壓電納米定位臺為小體積1~3維壓電平移臺,P11.XZ為二維壓電納米定位臺,平臺內(nèi)部采用無摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu),一體的結(jié)構(gòu)設(shè)計,多維運動無耦合。 機(jī)構(gòu)放大式驅(qū)動原理,內(nèi)置高性能壓電陶瓷,可實現(xiàn)100μm位移。閉環(huán)版本定位精度可達(dá)納米級。采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu),柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有高的導(dǎo)向精度,具有高剛性、高負(fù)載、無摩擦、免維護(hù)

更新日期:2025-02-24

P11.XZ二維XZ向壓電納米定位臺 100μm價格的詳細(xì)資料:

P11.XZ二維XZ向壓電納米定位臺 100μm價格P11系列壓電納米定位臺為小體積1~3維壓電平移臺,P11.XZ為二維壓電納米定位臺,平臺內(nèi)部采用無摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu),一體的結(jié)構(gòu)設(shè)計,多維運動無耦合。 機(jī)構(gòu)放大式驅(qū)動原理,內(nèi)置高性能壓電陶瓷,可實現(xiàn)100μm位移。閉環(huán)版本定位精度可達(dá)納米級。采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu),柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有高的導(dǎo)向精度,具有高剛性、高負(fù)載、無摩擦、免維護(hù)等特點。壓電定位臺具有控制精度,分辨率和穩(wěn)定性可以達(dá)到納米量級,定位穩(wěn)定時間僅為毫秒量級,壓電定位臺為無磁材質(zhì),使用過程中不受磁場的影響,壓電定位臺體積小、結(jié)構(gòu)緊湊易于集成。

P11.XZ二維XZ向壓電納米定位臺 100μm價格

大行程、閉環(huán)版本定位精度高、響應(yīng)速度快


傳感器類型

頻率負(fù)載曲線


P11系列納米定位臺采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計原理,內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷作為驅(qū)動源,可以實現(xiàn)1~3維100μm的精密運動。

該系列壓電納米定位臺可以選擇開環(huán)或閉環(huán)版本, 閉環(huán)版本采用高精度傳感器對位置進(jìn)行實時檢測反饋,配置芯明天E00/E01、E72/E73、E52/E53等系列閉環(huán)壓電控制器可以實時對位移進(jìn)行精密調(diào)整,實現(xiàn)納米級的精密定位控制。

P11系列壓電納米定位臺的響應(yīng)速度快,配套E52系列壓電控制器可實現(xiàn)0.8ms的階躍時間。





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