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產(chǎn)品名稱(chēng):P66.X60一維X向壓電納米定位臺(tái) 60μm

產(chǎn)品型號(hào):

產(chǎn)品報(bào)價(jià):

產(chǎn)品特點(diǎn):P66.X60一維X向壓電納米定位臺(tái) 60μm
P66.X60壓電納米定位臺(tái)以壓電陶瓷為驅(qū)動(dòng)源并采用直驅(qū)式驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的壓電位移平臺(tái),是壓電與柔性鉸鏈相結(jié)合的納米定位系統(tǒng),可達(dá)毫秒級(jí)響應(yīng)、納米級(jí)定位精度,并可選配高精度傳感器進(jìn)行閉環(huán)精密定位控制。該產(chǎn)品非常適于定位應(yīng)用,如干涉中光路徑長(zhǎng)度修正、顯微或掃描應(yīng)用中的樣品定位等。

更新日期:2025-02-24

P66.X60一維X向壓電納米定位臺(tái) 60μm的詳細(xì)資料:


特性 P66.X60一維X向壓電納米定位臺(tái) 60μm

應(yīng)用

• 光盤(pán)驅(qū)動(dòng)測(cè)試  開(kāi)閉環(huán)版本可選

傳感器使用全橋配置已消除熱漂移,使得該系列納米定位臺(tái)可以實(shí)現(xiàn)較高的線性度與重復(fù)度。


 P66.X60一維X向壓電納米定位臺(tái) 60μm


型號(hào)

尾綴S-閉環(huán)

尾綴K-開(kāi)環(huán)

P66.X60S

P66.X60K

單位

運(yùn)動(dòng)自由度

X

X


行程(0~120V)

48

48

μm±20%

行程(0~150V)

48

48

μm±20%

傳感器類(lèi)型

SGS

-


閉/開(kāi)環(huán)分辨率

2

0.8

nm

閉環(huán)線性度

0.1

-

%F.S.

閉環(huán)重復(fù)定位精度

0.05

-

%F.S.

俯仰/偏航/滾動(dòng)

<20

<20

µrad

推/拉力

160/16

160/16

N

運(yùn)動(dòng)方向剛度

2.8

2.8

N/μm±20%

空載諧振頻率

1.3

1.3

kHz±20%

閉/開(kāi)環(huán)空載階躍時(shí)間

10

1.6

ms±20%

閉環(huán)空載

工作頻率

10%行程

200

200

Hz±20%

行程

20

20

大承載

6

6

kg

靜電容量

7.2

7.2

μF±20%

材質(zhì)


重量

190

190

g±5%

哈爾濱芯明天科技有限公司是專(zhuān)注于壓電納米運(yùn)動(dòng)與控制系統(tǒng)的研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售的高新技術(shù)企業(yè),提供基于壓電陶瓷微位移技術(shù)的微米級(jí)行程、納米級(jí)定位精度的直線運(yùn)動(dòng)產(chǎn)品,毫弧度級(jí)偏轉(zhuǎn)角度、納弧度級(jí)偏轉(zhuǎn)精度的角度運(yùn)動(dòng)產(chǎn)品與配套運(yùn)動(dòng)控制產(chǎn)品以及相關(guān)解決方案,是中國(guó)壓電納米定位行業(yè)開(kāi)發(fā)、創(chuàng)新、開(kāi)拓的先鋒。


芯明天公司主要服務(wù)于精密制造、檢測(cè)設(shè)備的生產(chǎn)制造企業(yè)以及實(shí)驗(yàn)、科研型的高校院所。經(jīng)過(guò)近20年的快速發(fā)展,芯明天的客戶已覆蓋全國(guó)各地,并遠(yuǎn)銷(xiāo)歐、美、日、韓等地。公司與眾多國(guó)內(nèi)外高科技企業(yè)、國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室建立了合作伙伴關(guān)系,已經(jīng)成為化的壓電精密定位產(chǎn)品生產(chǎn)廠商。



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